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微细加工技术
英文名称：Microfabrication Technology
主管单位：
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
出版周期：
出版地址：
语 种：
开 本：
国际刊号：1003-8213
国内刊号：43-1140/TN
邮发代号：
发行范围：
创刊时间：1983
期刊收录：
核心期刊：
期刊荣誉：
Caj-cd规范获奖期刊
期刊简介无线电电子学期刊发表 - 信息科技期刊发表
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主要栏目：
综述
电子束技术
离子束技术
光子束技术
薄膜技术
微机械加工技术
纳米技术